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2024半导体洁净技术论坛

2024年12月10日 8:30 ~ 2024年12月11日 13:30
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    议题规划:

    国家标准解读

    • 国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》;

    • 高级别半导体洁净室设计及生产车间建设规范与标准解读;

    • 相关受控环境标准解读。

    行业发展趋势解读

    • 半导体材料应用技术及发展前景;

    • 半导体设备应用技术及发展前景;

    • 洁净技术发展趋势及应用需求。

    技术发展与创新

    • 空气中的尘埃粒子的检测/控制/及整体解决方案;
    • 半导体/集成电路生产中防静电及除静电;
    • 微电子洁净厂房的送风模式;
    • FFU在芯片制造环境与工艺良品率中的作用;
    • HVAC:温湿度控制;模糊控制在半导体厂洁净室温湿度控制中的应用;
    • 工程设计与施工过程管理;
    • 基于需求的洁净室人工智能管控节能;
    • 数字化建设:智能控制系统;
    • 洁净室建设解决方案:垂直领域痛点解决方案;

    垂直领域的解决方案

    • 控制表面污染-提高成品率;

    • 半导体硅材料厂工艺设计中的污染控制技术;

    • 半导体晶圆厂洁净室气态化学污染物测试及污染源分析;

    • 半导体洁净室AMC(气态分子污染物)控制方案;

    • 化学过滤器在半导体洁净室新风净化中的应用;

    • 高效PTFE复合滤材/过滤器生命周期的性能优化;

    • 微生物污染控制/微生物污染源分析及解决方案。

    碳中和与绿色发展




    • 洁净厂房建设的节能环保;

    • 过滤、分离;空气、废水、纯净水;

    • 应对气候变化:洁净室的能源效率;

    • 洁净区的消防与主动安全




    “引进来”与“走出去”

    • 引进来”政策解读

    • “走出去”政策及实例解读

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